超纯级压力传感器UNIK5000P系列
超纯级压力传感器UNIK5000P系列 。在半导体器件的生产过程中，压力这一物理量的测量、校准及控制是许多制程的关键组成部分。德鲁克是压力测量行业的知名品牌，经过逾半个世纪的积累，我们在包括半导体行业在内的诸多行业中积累了丰富应用经验。 德鲁克面向半导体等行业的超纯介质压力测量应用推出了超纯压力传感器，该系列的核心设计源于经典的 UNIK5000 系列。数十年来，该系列压力传感器在各类对性能及可靠性要求严苛的应用，例如航空航天......
产品描述
超纯级压力传感器UNIK5000P系列。在半导体器件的生产过程中，压力这一物理量的测量、校准及控制是许多制程的关键组成部分。德鲁克是压力测量行业的知名品牌，经过逾半个世纪的积累，我们在包括半导体行业在内的诸多行业中积累了丰富应用经验。
德鲁克面向半导体等行业的超纯介质压力测量应用推出了超纯压力传感器，该系列的核心设计源于经典的UNIK5000系列。数十年来，该系列压力传感器在各类对性能及可靠性要求严苛的应用，例如航空航天、发动机测试及其他工业压力测试等领域中获得了广泛认可。
同时，UNIK5000P系列超纯压力传感器采用专用生产及包装制程，以确保所需的超纯、无油特性得以满足。基于大量应用的反馈结果，该系列拥有优良的可靠性和稳定性。融合了高精度、高稳定性以及低成本特性的UNIK系列超纯压力传感器业已得到诸多用户的认可。
新型UNIK5000是一款高性能可配置的压力测量解决方案。用途微机械硅技术和模拟电路实现一流的性能，实现稳定性和低功耗和频率响应。新平台使用户能够轻松构建用户自己的传感器以匹配用户自己的精确度需要。这种高性能、可配置的解决方案压力测量采用模块化设计，精益制造技术。
超纯级压力传感器UNIK5000P系列应用行业
• 半导体、太阳能、液晶面板制造设备等
• 超纯介质和特殊气体系统压力测量
应用介质
• 超纯及有毒等特种介质
超纯级压力传感器UNIK5000P系列特点
• 量程最大可5000psi
• 综合测量精度可达士0.2% FS BSL• 补偿温度范围可达-40~+125℃
• 硅压阻敏感元件，年稳定性±0.05%FS，具备高可靠性• 快速响应时间，上电时间小于30ms
• 具备完整的半导体工艺过程压力接口选项
• 接液部分采用EP电解抛光，Ra≤0.13 um (RA 5)，符合SEMI F19
• 适用于与316L不锈钢和哈氏合金C276兼容的超纯流体，接液部分材质符合SEMI F20，VIM/NAR材质可选
• 接液部分脱脂清洗，产品采用双层真空包装• 危险区域认证可选
高品质
高科技传感器的组合，以及先进的信号调理和封装技术，为可靠、准确的客户提供理想的长期解决方案和经济测量。
标配定制
从标准组件定制，制造传感器满足用户的要求，快速而简单；每个 UNIK5000 是一种“定制”压力传感解决方案，但具有交货时间短，价格有竞争力，用户会期望从标准产品。我们拥有支持用户的人员和知识对准确可靠的产品性能的需求；我们的专家团队可以帮助用户制造合适的传感器选择、指导用户并为用户提供帮助和工具需要。重要的是要确保传感器材料和所选性能适合用户的应用。联系银飞公司专业工作人员为您一对一服务，为您选型。
特征
• 范围从 70 mbar （1 psi） 到 700 bar （10000 psi）
• 精度达到 ±0.04% 满量程 （FS） 最佳直线 （BSL）
• 不锈钢结构
• 频率响应达 3.5 kHz
• 高过压能力
• 危险区域认证
• mV、mA、电压和可配置电压输出
• 多种电气和压力连接器选项
• 工作温度范围： –55至+125°C（-67 至 +257°F）
• 在线配置工具
测量工作压力范围：
量程范围：任何基于零的范围 70 mbar 至 70 bar（1 至 1000 psi），注意：所有 psi 值均为近似值。
密封量程：任何基于零的范围 10 至 700 bar（145 至 10000 psi）
绝对范围：任何基于零的范围 100 mbar 至 700 bar（1.5 至 10000 psi）
差分范围：
湿/干
单向或双向 70 mbar 至 35 bar（1 至 500 psi）
湿/湿
单向或双向 350 mbar 至 35 bar（5 至 500 psi）
管路压力：最大 70 bar （1000 psi）
气压范围：气压范围最小为 350毫巴 （5.1 psi）
非零范围：提供非零范围。对于非零规格范围，请联系 Druck 讨论用户的要求。
过压/超载/超量程
• 10 × FS，量程高达 150 mbar （2 psi）
• 4 × FS，适用于 <350 mbar （5 psi） 的量程 • 6 × FS，适用于高达 700 mbar （10 psi） 的量程 • 2 × FS 用于气压范围 • 4 × FS 用于所有其他量程（量程 ≤70 bar 最高 200 bar，量程 >70 bar）*
对于差分版本，负极不得超过积极的一面超过：
• 6 × FS，量程高达 150 mbar （2 psi）
• 4 × FS，量程高达 700 mbar （10 psi）
• 2 × FS，适用于所有其他量程，最大压力可达 15 bar （200 psi）
电源和输出
| Electronics option |
Description |
Supply voltage (V) |
Output |
Current consumption (mA) |
| 0 | mV Passive | 2.5 to 12 | 10 mV/V^ | <2 at 10 V |
| 1 | mV Linearised | 7 to 12 | 10 mV/V^ | <3 |
| 2 | mA | 7 to 28** | 4-20 mA | <30 |
| 3 | 0 to 5 V 4-wire | 7 to 16** | 0 to 5 V | <3 |
| 4 | 0 to 5 V 3-wire | 7 to 16** | 0 to 5 V* | <3 |
| 5 | Basic Configurable (3-wire) | See below | See below | <3 |
| 6 | 0 to 10 V 4-wire | 12 to 16** | 0 to 10 V | <3 |
| 7 | 0.5 V to 4.5 V Ratiometric | 5.0 ± 0.5 | 0.5 to 4.5 V | <3 |
| 8 | Configurable (4-wire) | 7 to 36 | See below | See below |
| 9 | Configurable (3-wire) | 7 to 36 | See below | See below |
^ 采用 10 V 电源 mV 输出传感器，可在满量程上提供 100 mV 电压压力。
• 输出与电源电压成正比
• 当压力范围低于 350 mbar （5 psi） 时，输出按比例降低
*0 至 5 V 3 线输出为非真零。在压力低于量程的 1% 时，输出将固定在大约 50 mV
**32 V（非危险区域运行）
~ 电源电压介于 [最大输出 + 1 V]（最小 7 V）至 16 V 之间（32 V，非危险区域运行）
基本可配置（选项 5），可配置 4 线（可选8）、可配置 3 线（选件 9）
任何压力信号输出配置都将可用，受以下限制的约束：
| Output specification | Basic configurable (option 5) | Configurable (options 8， 9) |
| Minimum span: | 4 V | 2 V |
| Maximum span: | 10 V | 20 V |
| Maximum output limit: | 11 V | ±10 V |
| Maximum zero offset: | Span / 2 | ±Span |
| Current consumption: | < 3 mA |
< 20 mA @ 7 Vdc decreasing to < 5 mA @ 32 Vdc |
| Reverse output response: | No | Yes |
| Maximum operating temperature: | +125˚C | +80˚C |
输出电压范围可指定为0.1V分辨率。
输出将继续响应 110% FS。即，如果 0 至 10 V 输出为指定时，输出将继续按比例增加压力至至少 11 V。
选项 5：非真零，输出将在 < 50 mV 时饱和。
选项 8、9：启动时<通常消耗 100 mA 10 ms。
选项 8、9：分流校准：不适用于反向输出。
性能规格
性能规格分为三个等级：
工业化、改进和优质。
准确性
电压、电流和 mV 线性化
非线性、滞后和
重复性：
• 工业级别：±0.2% FS BSL
• 改进级别：±0.1% FS BSL
• 专业级别：±0.04% FS BSL
mV 无源
≤ 70 巴
工业/改进：±0.25% FS BSL
高级版不可用
> 70 巴
工业级/改进型：±0.5% FS BSL
高级版不可用
注1：对于气压范围，精度是量程，不是全规模。
注2：对于双向范围，每个方向都指定了精度分别。
零点偏移和量程设置
可拆卸的电气连接器选项允许访问
提供至少 ±5% FS 调整的电位计（购买后请参阅说明书和实物的电气连接器部分）。
超纯级压力传感器UNIK5000P系列出厂标准为：
| Product Description | Industrial | Improved and Premium |
|
Current and voltage versions (Demountable electrical connections and cable gland) |
±0.5% FS | ±0.2% FS |
| Current and voltage versions (All other electrical connections) | ±1.0% FS | ±1.0% FS |
| mV versions | ±3.0 mV | ±3.0 mV |
长期稳定性：±0.05% FS（典型值）（最大值为 ±0.1% FS）每年增加压力范围低于 350 mbar 的比例
温度影响：可以选择四个补偿温度范围。
工业精度性能：
• -10 至 +50°C（+14 至 +122°F）：±0.75% FS TEB*
• -20 至 +80°C（-4 至 +176°F）：±1.5% FS TEB
• -40 至 +80°C（-40 至 +176°F）：±2.25% FS TEB
• -40 至 +125°C（-40 至 +257°F）：±2.25% FS TEB
*TEB = 温度误差带
改进和卓越的精度性能：
• -10 至 +50°C（+14 至 +122°F）：±0.5% FS TEB
• -20 至 +80°C（-4 至 +176°F）：±1.0% FS TEB
• -40 至 +80°C（-40 至 +176°F）：±1.5% FS TEB
• -40 至 +125°C（-40 至 +257°F）：±1.5% FS TEB
温度效应按压力范围按比例增加低于 350 mbar （5 psi），气压加倍范围。
管路压力效应（仅限差压版本）
零点偏移：管路压力<±0.03%量程/bar
量程偏移：管路压力<±0.03%量程/巴
影响按比例增加压差范围低于 700 mbar （10PSI）
文章来源于DRUCK 德鲁克，深圳银飞公司有售
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