德鲁克TERPS硅谐振压力传感器为质量流量控制器MFC生产定标与计量解决方案。德鲁克的一家位于日本的客户是业界领先的质量流量控制器生产厂商之一。这家是用于对流体的质量流量进行精密测量和控制的仪器，广泛应用于半导体生产工艺中的多个制程中，其出厂标准具有高等级品控标准和可溯源性的要求。因此，如下图所示“校准溯源性金字塔”，该厂商希望建立一个符合工作标准(Working Standard)且具有可溯源性的MFC差压式校验系统，以保证其客户产品大量生产时的出厂品质并为其后续使用时的现场维护和校准提供标准。

校准溯源性金字塔

为了实现其标准器的功能，该差压式质量流量校验系统对于所使用的压力传感器提出了极高的精度、长期稳定性、量程范围及可靠性要求。该厂商为该系统选择了德鲁克的硅谐振压力传感器TERPS。其原理如下图所示，通过测量限流器两端的入口压力P1和出口压力P2，采用公式：Q=KT(P1²-P2²)，可计算出质量流量Q，即得以实现对质量流量的定标。

系统示意图

其选定TERPS压力传感器的考量因素包括：

TERPS十倍于传统硅压阻传感器的精度(±0.01%FS全温精度)及长期稳定性(±100ppm)，可保证定标的准确性并延长维护周期；

分辨率可达10ppm

通过RS-232/RS-485串口或USB接口直接输出的ASCII码格式的压力测量数据，可简化系统设计(USB接口集成供电功能)；

多种量程、压力接口等可选；

本地化的技术支持网络，可提供快速的本地维护及支持。

德鲁克TERPS系列压力传感器为该厂商的MFC校验提供了符合其工作标准且具备可追溯性的校验系统。此外，我们也同时为基于压力的质量流量控制器提供硅压阻式压力传感器及压力模块。
文章来源于DRUCK德鲁克