Keysight B1500A半导体参数分析仪
Keysight B1500A半导体参数分析仪 是一款全自动的精密电流电压分析仪，可以对IV、CV、Pulse/Dynamic-IV进行广泛的测量，也可以对电子设备、材料、半导体的电气特性进行评估，在电子设备测量方面具有较高的可靠性和效率。 B1500A 的模块化系统，可以根据用户对测量的需求，对模块进行添加或升级，很多提供了10个插槽；15英寸触摸屏的嵌入式Windows10系统，可支持支持高效和可重复的设备特性描述，可提供数几百个即时可用的测量应用程序，为测试执行和分析......
产品描述
Keysight B1500A半导体参数分析仪是一款全自动的精密电流电压分析仪，可以对IV、CV、Pulse/Dynamic-IV进行广泛的测量，也可以对电子设备、材料、半导体的电气特性进行评估，在电子设备测量方面具有较高的可靠性和效率。B1500A的模块化系统，可以根据用户对测量的需求，对模块进行添加或升级，很多提供了10个插槽；15英寸触摸屏的嵌入式Windows10系统，可支持支持高效和可重复的设备特性描述，可提供数几百个即时可用的测量应用程序，为测试执行和分析提供了直观和功能强大的操作环境。
Keysight B1500A半导体器件参数分析仪特点说明书
在CV和IV测量之间切换，无需重新布线
捕捉其他常规测试仪器无法捕捉的超快瞬态现象
检测1kHz至5MHz范围内的多频率交流电容测量值
使用直观的15英寸触摸屏界面，无需外部PC即可分析数据
配置B1500A与用户选择的测量模块，很多配10插槽在仪器中
使用直观的EasyEXPERT group+软件享受15英寸宽的触摸屏
Keysight B1500A半导体器件分析仪的电流电压测量
精确测量范围为0.1 fA-1A和0.5μV-200μV-
点扫测量
时间采样测量（100μ（很小采样率）
很小脉冲宽度为50μs-500μs
HPSMU、MPSMU或HRSMU
ASU（atto感应和开关单元）可与MPSMU或HRSMU一起使用，以提供0.1 fA
测量分辨率和SMU/AUX路径切换
两种模数转换器可供选择（高分辨率ADC或高速ADC）
SMU类型（HPSMU、MPSMU和HRSMU）
Keysight B1500A半导体参数分析仪操作说明书
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精密电压和电流测量 （0.5 µV 和 0.1 fA 分辨率） |
– 低电压和小电流的精确表征。 |
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用于多频率（1 kHz 至 5 MHz）电容测量 （CV、C-f 和 C-t）与电流/电压（IV）测量切换的高精度和低成本解决方案。 |
– 无需重新连接电缆即可在 CV 和 IV 测量之间进行切换 – 保持出色的小电流测量分辨率 （使用 SCUU 时很小为 1 fA，使用 ASU 时很小为 0.1 fA） – 为被测器件提供完整的 CV 补偿输出 |
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超快速 IV 测量， 100 ns 脉冲和 5 ns 采样率 |
– 捕获传统测试仪器无法精确测量的超快速瞬态现象 |
| 超过 300 种应用测试即时可用 | – 缩短从学习仪器使用、进行测量到熟练操作仪器所需的时间 |
| 包含示波器视图的曲线追踪仪模式 |
– 交互式地开发测试，并即时查看器件特征 – 无需使用任何其他设备便可对电流和电压脉冲进行验证 （MCSMU 提供示波器视图） |
| 功能强大的数据分析和稳定可靠的数据管理 |
– 自动分析测量数据，无需使用外部 PC – 自动存储测量数据和测试条件，日后快速调用此信息 |
Keysight B1500A半导体器件分析仪模块化使用说明书
| 测试范围 | 支持的模块 | 主要技术指标 | 主要特性 |
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直流和脉冲IV测量 |
B1510A大功率源表模块 （HPSMU） |
高达 200 V/1 A – 很小分辨率 10 fA/2 μV |
很小 100 μs 采样 （时域）测量 很小脉宽 500 μs， 100 μs 分辨率 准静态电容电压 （QSCV）测量， 具有泄漏电流补偿 4象限工作 – Kelvin（4 线） 连接 – 点测量、扫描 测量和其他 功能 |
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B1511B中等功率源表模块 （MPSMU） |
– 高达 100 V/0.1 A 很小分辨率 10 fA/0.5 μV ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换 |
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B1517A高分辨率源表模块 （HRSMU） |
– 高达 100 V/0.1 A 很小分辨率 1 fA/0.5 μV ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换 |
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B1514A50µs脉冲中等 电流源表模块（MCSMU） |
高达 30 V/1 A（0.1 A 直流） |
–很小脉宽 50 μs， 功能 2μs 分辨率 –示波器视图支持精确的脉冲测量 |
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电容测量 |
B1520A多频率电容测量 单元（MFCMU） |
频率范围为1 kHz 至 5 MHz – SMU和SCUU提供25 V内置直流 偏置和100 V 直流偏置 |
交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） – 使用自动切换通过SCUU轻松、快速、 精确地进行IV和CV测量 |
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超快速脉冲和瞬态IV测量 |
B1530A波形发生器/快速 测量单元（WGFMU） |
用于波形生成的10 ns可编程 分辨率 –200MSa/s同时高速测量 –10V峰峰值输出 |
无负载线效应；使用 SMU 技术进行精确的 脉冲 IV 测量 – 支持 NBTI/PBTI、RTN等先进应用 |
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脉冲生成 |
B1525A高电压 半导体脉冲 发生器单元（HV-SPGU） |
高达±40V高电压输出 |
–能够在每个通道上生成二电平和三电平 脉冲和任意波形 –适用于非易失性存储器测试 |
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超快速脉冲高k/SOI测试 |
B1542A 10ns脉冲IV参数 测试解决方案 |
很小选通脉宽 10 ns，上升和下降 时间为2 ns –1µs电流测量分辨率 |
–精确的Id-Vd和Id-Vg测量 –在直流测量和脉冲测量之间轻松切换 |
