北斗二号系统（Bird BDS2）在线电压电流探头系统是专为精密半导体加工过程监测与控制精心研发的一款高端射频功率传感器及电压电流探测解决方案，采用先进的并行信号处理技术，实现了对电压、电流以及相位角的实时、同步多频点精确测量。这一独特功能使BDS2能够覆盖并细致分析多个基波频率、谐波以及互调频率，从而帮助用户深入理解并精确掌控半导体工艺过程中复杂的射频动力学行为。通过实时捕捉并解析高频信号的各种细微变化，BDS2系统能够协助工程师及时发现并减少射频工艺中的变量，进而优化半导体生产效率与成品质量，为半导体制造领域的高效精准控制提供了有力支持。此外，北斗二号系统（Bird BDS2）还具备强大的频率跟踪能力、高分辨率的时间域模式以及灵活的网络协议支持，展现出卓越的性能表现和广泛的应用适应性。
Using sophisticated parallel signal processing, the BDS2 simultaneously measures and reports voltage, current, and phase angle at multiple fundamental, harmonic and intermodulation frequencies.
A robust frequency tracking algorithm guarantees accurate measurements under dynamic signal conditions. With this data, power and impedance are calculated at each frequency, giving users the ability to identify small discrepancies that may make the difference between a successful and a failed process.
The optional Time-Domain mode allows exceptional visibility into the shape of pulsed RF waveforms in the non-50 ohm environment. Similar to an oscilloscope, the BDS2 will display a one-shot, triggered view of the pulse envelope. Uniquely, however, the BDS2 will display the waveform in voltage, current, phase, power, or impedance to the fullyspecified accuracy of the system.

北斗二号系统（Bird BDS2）核心技术亮点：

1. 一致性提升：通过对射频功率传递的精准优化，显著提高工艺流程的均匀性。
2. 卓越精确度：依托行业领先的测量不确定度，确保每次测量结果都值得信赖。
3. 一体化测量方案：借助预配置的校准推车，简化工作流程，实现即插即用。
4. 深度洞察：通过独特的BDS系统，深入了解复杂的阻抗过程，为用户提供宝贵的过程洞察能力。
5. 行业标准：Bird品牌以其在半导体行业中稳固的RF测量标准地位，让您安心选用。

北斗二号系统（Bird BDS2）特色：

• 精准度高达1%：当系统锁定时，可准确测量射频电压和电流。
• 计算阻抗与功率：根据测量数据计算各频率下的阻抗和射频功率。
• 多元脉冲或连续波形：支持多级脉冲或连续波(CW)信号的测量。
• 丰富频率覆盖：可测量1-3个基波频率，每个基波频率下支持4个谐波，每对基波产生6个互调产物，并可扩展至252MHz进行谐波分析。
• 时间域模式：特有的时间域模式犹如一台带有触发功能的示波器，能捕捉并显示脉冲包络的单次触发视图，特别之处在于它能够以电压、电流、相位、功率或阻抗的形式呈现，并保持整个系统的完整精度。
• 跟踪与频谱搜索模式：配备频率跟踪算法，确保动态信号条件下测量结果依然准确，同时支持以太网连接，便于数据传输和远程控制。

产品规格概要：

• 产品件号：BDS2系统
• 产品名称：在线电压电流探头
• 系统组件：解锁系统包含7001A900-2型号的BDS2单通道接收器（带以太网接口）和一套5米直连RF数据电缆7001B040-5M。

传感器选项：

• 提供定制设计传感器和定制频率组合服务。

传感器型号	描述
7001A550-1-xx yy	传感器，BDS2，QC 连接器（根据连接选项表选择xx yy）
7001A550-2	传感器，BDS2，突出电介质连接

系统套装：

• 锁定系统套装包含了接收器、电缆和传感器套件，可根据客户需求选择不同连接选项。

套件型号	描述
7001A500-1-xxyy	BDS2 套件（接收器、电缆和传感器套件），QC 连接器（按连接选项表选择xx yy）
7001A500-1-2	BDS2 套件（接收器、电缆和传感器套件），突出电介质连接

时间域测量选项：

• 支持工厂安装或现场安装许可证升级，时间域测量模式具备500ns的时间分辨率，可配置0.1至10ms的时间刻度，并支持平均、触发等多种高级功能。

参数	数值
时间分辨率	500 ns
可配置时间范围	0.1 至 10 ms
平均模式	迹线平均

测量范围：

• 频率范围：307kHz至252MHz（取决于所选传感器）
• 分辨率：100Hz
• 精度：±1kHz
• 可同时测量多达3个基波频率及其谐波和互调产物

参数	范围/精度
频率范围	307 kHz - 252 MHz（取决于传感器）
分辨率	100 Hz
精度	±1 kHz
同时基波数量	最多3个，更多可定制

连接选项*

输入连接器 (xx)	输出连接器 (yy)
01 = N(f)	01 = N(f)
02 = N(米)	02 = N(米)
12 = HN(f)	12 = HN(f)
13 = HN(米)	13 = HN(米)
14 = 7/16（女）	14 = 7/16（女）
15 = 7/16(米)	15 = 7/16(米)
34 = LC(f)	34 = LC(f)
35 = LC(米)	35 = LC(米)

* 可以开发定制设计以适应特定的连接/应用。

北斗二号系统（Bird BDS2）展现了卓越的信号追踪性能，其核心优势在于能够迅速应对频率变化速率高达2GHz/s的射频信号，实现亚微秒级别的精细追踪，最小脉冲宽度仅为5微秒。这种瞬态响应能力赋予了用户强大的分析手段，能够精确捕捉并解析射频工艺流程中哪怕是最微妙的变动，从而有效识别潜在的工艺变异源并加以控制，显著提升半导体生产过程的稳定性和一致性。与此同时，BDS2系统经过精心设计，完全满足严苛的环境运行标准，在包括极端温度、湿度以及海拔等多样化条件下，都能够展现超凡的耐用性和可靠性，确保在任何复杂工况下皆能持续稳定地提供精准的射频测量数据，堪称半导体工艺控制领域的一项关键技术革新。
文章来源美国鸟牌，深圳银飞公司有售北斗二号系统（Bird BDS2） - 在线电压电流探头系统